微机电系统(MEMS)技术是建立在微米或纳米技术基础上的前沿技术,是指对微米或纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。该技术可以将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。MEMS使用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺,能够制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
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微机电系统(MEMS)技术是建立在微米或纳米技术基础上的前沿技术,是指对微米或纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。该技术可以将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。MEMS使用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺,能够制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
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